日本高亮度光科學研究中心(JASRI)、納米理化學研究所及神島化學工業公司組成的分辨研究小組,成功開發出能分辨200納米結構的光探高分辨率X光成像探測器。這款X光探測器擁有全球最高的測器分辨率,能獲得前所未有的問世高精細X光圖像。
研究小組利用X光轉換為可見光,納米開發了無接合層的分辨5微米厚透明薄膜閃爍體,大幅提高了光學特性,光探實現了接近X光成像理論極限的測器200納米分辨率。利用該探測器,問世研究小組成功拍攝了超大規模集成電路(VLSI)器件內部300納米寬的納米布線。這是分辨全球首次以實用水平畫質無損拍攝出VLSI內部的微細布線。
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