在芯片制程工藝方面，年到年臺南科臺積電一直走在行業前端。積電將集據報道，中臺在今年一季度，學園臺積電5nm工藝大規模投產，年到年臺南科且更為先進的積電將集3nm工藝也在穩步就班地按計劃推進，計劃于2021年風險試產，中臺并于2022年下半年大規模投產。
5nm和3nm工藝，將是臺積電未來幾年能帶來大量營收的工藝，而從外媒的報道來看，臺積電這兩大工藝的主要的產能，都將在他們位于臺南科學園區的晶圓廠內，臺積電2024年和2025年的產能，也將主要集中在臺南科學園區。
臺積電目前在臺南科學園區有3座晶圓廠，分別是晶圓十四廠、晶圓十八廠和晶圓六廠，其中前兩座是12英寸的超大晶圓廠，后一座是八英寸晶圓廠。
臺積電官網的信息顯示，晶圓十八廠是他們5nm制程工藝的主要生產基地，也就意味著他們5nm工藝的產能，主要集中在這一晶圓廠。
而除了5nm工藝，臺積電3nm制程工藝的工廠，也將建在臺南科學園區內，他們在2016年就公布了建廠計劃，投資高達195億美元，工廠靠近5nm制程工藝的主要生產基地晶圓十八廠。
由于5nm和3nm是臺積電未來一段時間的主要工藝，這兩大工藝的生產基地同在臺南科學園區，也就意味著在未來的一段時期，臺積電的主要產能將集中在臺南科學園區，且2024年到2025年，臺積電60%到70%的產能將在臺南科學園區。
